第一步:計劃和準備


創建PFMEA項目,定義產品、跨職能團隊等信息,如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用

第二步:結構分析


根據晶圓研磨的工藝流程,定義結構,分析工藝工作要素(5M1E),如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


系統自動生成的工藝流程圖,如下:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用

第三步:功能分析


根據晶圓研磨的制造工藝,定義各種工藝項目、工藝步驟和工作要素的功能和要求,如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


通過功能矩陣,維護過程項、過程步驟、工作要素的功能和要求的關聯關系:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


第四步:故障分析


維護過程項目、過程步驟和工作要素的功能和要求失效,如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


維護過程項、過程步驟、工作要素三級失效的關聯關系:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


查看失效網:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用

第五步:風險分析


評分FMEA S/O/D并制定預防措施(PC)和檢測措施(DC)。


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用

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第六步:優化


對H的AP(動作優先級)和m的AP(動作優先級)進行改進,重新制定預防措施和檢測措施,進一步改進,再重新評估。


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


任務分配:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用


步驟7:記錄(部分顯示以供參考)


FMEA分析完成后,將生成新版本的FMEA標準表單:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應用



在E- FMEA軟件中,可以保證從PFMEA到控制計劃(CP)的數據一致性,即在FMEA中修改產品特性或過程特性后,同時修改控制計劃。


以上采用新版FMEA的分析方法和E- FMEA軟件對晶圓研磨的研磨過程進行分析,并用FMEA軟件進行制作和展示。


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